CAN在晶片光刻装置中的应用

DEK发布了最新的Instinctiv系列印片机，Horizon 02i带有微米范围的、位置可调节的15英寸触摸屏LCD。微米级的低摩擦鸥形翼式的机械设备盖作为标准配置安装，允许在干净的环境中进行部署，同时还简化了产品转变和消耗品补给期间对设备的访问。公司的印片机结构和位置检测技术也已经与微米级的机器共享，确保了需要晶片级分辨率的过程的成品率，例如倒装晶片装配和直接芯片贴片。Horizon 02i印片机在±25 µm的全粘贴垫片处理能力上达到了1.6 Cpk (处理能力因数)，周期时间为12秒。印片机的板尺寸可以达到508 mm x 508 mm，缺省情况下装配有ESD安全传送导轨。其他一些缺省特性包括DEK的智能可升级控制器局域网(Intelligent Scalable Controller Area Network, ISCAN)技术，它增强了系统的诊断能力，并支持预测性维护，可以与公司基于Internet的支持服务系统结合在一起使用。选件包括DEK Gold摄像机视觉软件包，它通过调节8.5 mm x 11 mm视野、图像识别算法和采光，可以加速基准捕捉和2D检测。客户还可以使用Hawkeye 1200，定期确认系统，在标准机器周期时间内扩大基板覆盖范围。系统具有跟踪能力，可以使用Horizon 02i作为应用中的预放置解决方案，例如在医药装配和汽车装配行业中。Hawkeye 400系统也可以作为选件使用。

印片机具有图形化的用户界面，可以通过菜单选项进行操作和培训，因而能够逐步地演示机器操作向导。此配置还支持Instinctiv TimeToGo升级，这样操作员可以优化粘贴剂、纸张和USC溶剂的补充时间间隔，从而预测和计划机器停机。

来源：CAN简讯，2007年1月